Las instalaciones de protección contra incendios son una parte importante de la sala limpia. Su importancia radica no solo en el alto coste de los equipos de proceso y los proyectos de construcción, sino también en que las salas limpias son edificios relativamente cerrados, e incluso algunas son talleres sin ventanas. Los pasillos de la sala limpia son estrechos y tortuosos, lo que dificulta la evacuación del personal y la formación en prevención de incendios. Para garantizar la seguridad de las personas y los bienes, se debe implementar en el diseño la política de protección contra incendios de "prevenir primero, combinando prevención y prevención". Además de implementar medidas eficaces de prevención de incendios en el diseño de la sala limpia, también se instalan las instalaciones de extinción de incendios necesarias. Las características de producción de las salas limpias son:
(1) Existen numerosos equipos e instrumentos de precisión, y se utilizan diversos gases y líquidos inflamables, explosivos, corrosivos y tóxicos. El riesgo de incendio de algunas piezas de producción se clasifica en la categoría C (como la difusión de oxidación, la fotolitografía, la implantación de iones, la impresión y el embalaje, etc.), y otras en la categoría A (como la extracción de monocristales, la epitaxia, la deposición química de vapor, etc.).
(2) La sala limpia es altamente hermética. En caso de incendio, será difícil evacuar al personal y extinguirlo.
(3) El costo de construcción de una sala limpia es elevado, al igual que el equipo y los instrumentos. En caso de incendio, las pérdidas económicas serán enormes.
En función de las características mencionadas, las salas blancas presentan requisitos muy exigentes en materia de protección contra incendios. Además del sistema de protección contra incendios y de suministro de agua, también deben instalarse dispositivos fijos de extinción de incendios. Es fundamental determinar cuidadosamente los equipos e instrumentos de valor en la sala blanca.
Hora de publicación: 11 de abril de 2024