Las instalaciones de protección contra incendios son una parte importante de la sala limpia. Su importancia no es solo porque sus equipos de proceso y proyectos de construcción son caros, sino también porque las habitaciones limpias son edificios relativamente cerrados, y algunos incluso son talleres sin ventanas. Los pasajes de la sala limpia son estrechos y tortuosos, lo que dificulta evacuar al personal y enseñar fuego. Para garantizar la seguridad de la vida y la propiedad de las personas, la política de protección contra incendios de "prevención primero, combinar prevención y fuego" debe implementarse en el diseño. Además de tomar medidas efectivas de prevención de incendios en el diseño de la sala limpia, además, también se establecen instalaciones necesarias para combatir contra incendios. Las características de producción de las habitaciones limpias son:
(1) Hay muchos equipos e instrumentos de precisión, y se usan una variedad de gases y líquidos inflamables, explosivos, corrosivos y tóxicos. El riesgo de fuego de algunas partes de producción pertenece a la categoría C (como la difusión de oxidación, la fotolitografía, la implantación de iones, la impresión y el embalaje, etc.), y algunos pertenecen a la categoría A (como la tracción de cristal único, la epitaxia, la deposición del vapor químico, etc. .).
(2) La habitación limpia es muy hermética. Una vez que estalla un incendio, será difícil evacuar al personal y apagar el fuego.
(3) El costo de construcción de la sala limpia es alto y el equipo e instrumentos son caros. Una vez que estalla un incendio, las pérdidas económicas serán enormes.
Según las características anteriores, las habitaciones limpias tienen requisitos muy altos para la protección contra incendios. Además del sistema de protección contra incendios y suministro de agua, también se deben instalar dispositivos de extinción de incendios fijos, especialmente los equipos e instrumentos valiosos en la sala limpia deben determinarse cuidadosamente.
Tiempo de publicación: abril-11-2024