Las instalaciones de protección contra incendios son una parte importante de la sala limpia. Su importancia radica no solo en el elevado costo de los equipos de proceso y los proyectos de construcción, sino también en que las salas limpias son edificios relativamente cerrados, e incluso algunas son talleres sin ventanas. Los pasillos de la sala limpia son estrechos y tortuosos, lo que dificulta la evacuación del personal y la extinción de incendios. Para garantizar la seguridad de las personas y los bienes, se debe implementar en el diseño la política de protección contra incendios de "prevención primero, combinando prevención y extinción de incendios". Además de adoptar medidas eficaces de prevención de incendios en el diseño de la sala limpia, también se deben instalar las instalaciones necesarias para la extinción de incendios. Las características de producción de las salas limpias son:
(1) Hay muchos equipos e instrumentos de precisión, y se utilizan diversos gases y líquidos inflamables, explosivos, corrosivos y tóxicos. El riesgo de incendio de algunas piezas de producción pertenece a la Categoría C (como difusión de oxidación, fotolitografía, implantación iónica, impresión y embalaje, etc.), y otras pertenecen a la Categoría A (como extracción de monocristales, epitaxia, deposición química de vapor, etc.).
(2) La sala limpia es altamente hermética. Una vez que se produzca un incendio, será difícil evacuar al personal y extinguir el fuego.
(3) El costo de construcción de una sala limpia es alto y el equipo y los instrumentos son costosos. Una vez que se produce un incendio, las pérdidas económicas serán enormes.
Debido a las características mencionadas, las salas blancas requieren una protección contra incendios muy estricta. Además del sistema de protección contra incendios y suministro de agua, se deben instalar dispositivos fijos de extinción, especialmente teniendo en cuenta los equipos e instrumentos valiosos que se encuentran en la sala blanca.
Fecha de publicación: 11 de abril de 2024